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超純水設備和純水設備都是用于制備高純度水的設備，但二者之間還是存在一些區(qū)別的。

首先，純水設備主要采用離子交換法或反滲透法等物理或化學方法去除水中的雜質(zhì)、離子等，使得水的電導率、溶解度等物理化學指標符合一定的要求，一般可以達到電導率在1-10μs/cm的水質(zhì)要求。而超純水設備則是在純水的基礎(chǔ)上，進一步采用電去離子技術(shù)或超濾、納濾、反滲透等多種工藝技術(shù)，去除水中的微量有機物、細菌、病毒、超微粒等，使得水的電導率、溶解度等物理化學指標更高，可以達到電導率在0.055-0.2μs/cm的水質(zhì)要求，達到電子級、分子級甚至更高級別的水質(zhì)標準。

其次，從應用領(lǐng)域來看，純水主要用于化工、制藥、電子、實驗室等領(lǐng)域，而超純水則主要用于半導體、光電子、食品、飲料、航空航天等高端領(lǐng)域，對水質(zhì)的要求更高。

最后，從設備結(jié)構(gòu)和成本來看，超純水設備相對于純水設備更加復雜，需要更多的設備和工藝流程來達到更高的水質(zhì)標準，因此相應的成本也更高。

綜上所述，雖然超純水設備和純水設備都是用于制備高純度水的設備，但在水質(zhì)標準、應用領(lǐng)域、設備結(jié)構(gòu)和成本等方面都存在一定的區(qū)別。