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隨著科技的進步，半導體芯片制造業(yè)得以快速發(fā)展，但由于其制造工藝的精密性和復雜性，對工藝中所用水質(zhì)要求極高。超純水制備是通過一定的工藝使水中的導電介質(zhì)幾近完全去除，并將膠體物質(zhì)、氣體、有機物等降低到最低濃度，使經(jīng)過處理的水不含雜質(zhì)、無細菌、無含氯物質(zhì)等［1］。常見的超純水工藝系統(tǒng)包括：預處理系統(tǒng)、反滲透系統(tǒng)、電除鹽系統(tǒng)、拋光混床系統(tǒng)［2］四部分。本文以青島市一芯片制造廠房為例，介紹了超純水系統(tǒng)的制備工藝，并應用節(jié)能降耗理念，優(yōu)化節(jié)水節(jié)能措施。

## 項目概況

項目位于以芯片制造業(yè)為核心的某微電子產(chǎn)業(yè)園，項目總建筑面積約50 000 m2，效果圖如圖1所示。根據(jù)設計，系統(tǒng)進水源為當?shù)刈詠硭?。根?jù)《生活飲用水衛(wèi)生標準》GB 5749—2006［3］繪制了變化折線圖，如圖2所示，工藝生產(chǎn)所需超純水水質(zhì)標準如表1所示。

圖1 項目效果圖

圖2 水質(zhì)變化折線圖

表1 超純水水質(zhì)標準

## 工藝系統(tǒng)

該項目超純水制備及供應系統(tǒng)設計用水量為48 m3/h，主要工藝系統(tǒng)包括預處理系統(tǒng)、反滲透系統(tǒng)、電除鹽系統(tǒng)、拋光混床系統(tǒng)等，生產(chǎn)工藝流程圖如圖3所示。

圖3 超純水生產(chǎn)工藝流程圖

### 1）預處理系統(tǒng)

預處理系統(tǒng)包括ACF活性炭過濾器、自清洗過濾器及UF超濾裝置，主要作用為：對自來水進行粗加工，去除原水中的懸浮物，降低膠體濃度，使淤泥密度指數(shù)SDI降低至4以下；降低朗格利爾飽和指數(shù)LSI，有效避免碳酸鹽、硅酸鹽等發(fā)生結垢后堵塞兩級RO膜；去除原水中的氧化類物質(zhì)，防止對反滲透膜造成損傷。

### 2）反滲透系統(tǒng)

反滲透系統(tǒng)包括保安過濾器及兩級RO反滲透膜。保安過濾器將進入RO反滲透膜的固體微粒粒徑限制在5μm以下，有效防止反滲透膜的污堵及防止高壓泵高壓出水導致的RO膜破損。兩級RO反滲透膜是一種半透膜，利用高壓離心泵提供的、與自然滲透流動方向相反的動力［5］來實現(xiàn)水的凈化，將水中絕大部分的微生物、有機物、無機鹽等去除。

### 3）電除鹽系統(tǒng)

電除鹽系統(tǒng)包括EDI過濾器及CEDI連續(xù)電除鹽系統(tǒng)，系統(tǒng)以直流電為驅(qū)動力，利用離子交換膜與離子交換樹脂進行深度脫鹽，使出產(chǎn)的超純水電阻率≥18 mΩ·cm。相較于傳統(tǒng)的EDI除鹽系統(tǒng)，CEDI連續(xù)電除鹽系統(tǒng)采用在濃水室添加特制樹脂的技術來降低模組電阻率，由于無需注入鹽水循環(huán)，運行成本更低，且降低了鹽內(nèi)雜質(zhì)對模塊的污染。

### 4）拋光混床系統(tǒng)

該項目在超純水自氮封水箱之后、工藝用點之前設置了3臺拋光混床罐，使用PE玻璃鋼作為罐體內(nèi)襯，以去除水中小分子有機物，保證超純水水質(zhì)的穩(wěn)定性和一致性。但此類填料為不可再生樹脂，正常使用壽命約兩年，需按時更換。

## 運行和維護

超純水是芯片工業(yè)生產(chǎn)的命脈，因此在運行過程中需隨時對超純水系統(tǒng)各項參數(shù)進行監(jiān)控，及時對不符合限定值參數(shù)的設備進行檢查，需重點關注的參數(shù)及措施如表2所示。

表2 重點關注的參數(shù)及措施

為提高設備使用壽命，該項目根據(jù)以往經(jīng)驗，對純水系統(tǒng)的運行與維護進行了優(yōu)化。

對UF系統(tǒng)，因為其啟停及反洗均由自控氣動閥執(zhí)行，為防止空壓機停運導致氣動閥不動作，該項目從氮氣儲氣罐單接了一輸氣管作為氣動閥的備用氣源，此外為保證UF超濾膜組件的水通量，定期對膜組進行化學清洗。

對兩級反滲透RO系統(tǒng)，由于原水會隨季節(jié)變化而導致氯化消毒劑用量增多，因此應實時監(jiān)測入水、出水及中間水箱的OPR值，調(diào)整NaOH加藥量；為防止出水量減少、壓差增大，每年至少一次對反滲透膜進行清洗。

對CEDI系統(tǒng)，因超濾水箱、一二級RO水箱內(nèi)的水與空氣接觸會產(chǎn)生細菌和微生物，溶解CO2值也會偏高，因此需每年進行一次化學除垢，除垢后的CEDI不得立即投入使用，需帶電運行一段時間，在離子交換樹脂活躍重生后方可正常運行。

## 節(jié)水與節(jié)能優(yōu)化措施

### 4.1 實施措施

超純水制造工藝由于其去離子工藝的復雜性，從原水到純水的回收率較低，水資源浪費較大，增加了系統(tǒng)的運行成本。該項目考慮各排水節(jié)點，針對超濾反洗排水、濃水排水環(huán)節(jié)制定了回收利用措施，并采用了集中和分散相結合的PLC集散型自動控制系統(tǒng)。

1）超濾反洗排水

除純水系統(tǒng)外，該項目還設置了制冷系統(tǒng)、供熱系統(tǒng)、空壓機系統(tǒng)、PCW系統(tǒng)、新風系統(tǒng)等，系統(tǒng)所需補水量較大。為提高水資源利用率，促進超濾反洗排水的回收利用，該項目設置了廢水處理站，將超濾反洗排水及其他系統(tǒng)的工藝廢水一同收集和處理，將處理后的廢水用于冷卻塔補水、綠植灌溉、道路沖刷等，最大限度地提高廢水利用率。

2）濃水排水

該項目一級RO系統(tǒng)水回收率為75%。濃水排水量雖較大，溶解性總固體TDS指標也較高，但懸浮顆粒物含量低，具有回收價值，為此單獨設置了一套收集水箱進行收集，將收集到的一部分一級RO系統(tǒng)濃水用于綠植灌溉、衛(wèi)生沖洗，另一部分則進入二級RO反滲透系統(tǒng)進行二次濃縮。二級RO系統(tǒng)及CEDI連續(xù)電除鹽裝置產(chǎn)生的濃水進入超濾水箱，用于ACF活性炭過濾器及UF超濾系統(tǒng)的反洗，節(jié)省了自來水用量，降低了系統(tǒng)能耗，實現(xiàn)了水量平衡。該項目水量平衡原理如圖4所示。

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圖4 水量平衡圖

3）自控系統(tǒng)

為了降低運行成本與能源消耗，保障純水制備的高效運行，該項目采用了分散式與集中式相結合的PLC控制系統(tǒng)，利用光纖作為傳輸介質(zhì)，對水位、水質(zhì)、流量等進行實時監(jiān)控，并設定限定值對設備進行自動啟停，減少因空轉(zhuǎn)造成的能源消耗，延長了設備使用壽命，且使設備更安全地運行。

### 4.2 成本分析

該項目運行成本主要包括水費、加藥藥劑費及電費。根據(jù)設計，制備63 m3/h的超純水需消耗110 m3/h自來水，青島市目前非居民用水水價為5.4元/m3，用水水費594元/h；加藥藥劑平均消耗費用約為11元/h；設備總運行負荷為117 kWh，電費價格按照平均值0.8元/kWh計算，系統(tǒng)運行電費價格為93.6元/h。

綜上計算，該項目綜合運行費用約為698.6元/h，產(chǎn)出純水費用11.1元/m3（綜合運行費用僅為設備正常運行費用，不包含人工檢修維護費）。

## 結語

超純水是半導體制造業(yè)的工藝命脈，近年來超純水技術隨著半導體行業(yè)的發(fā)展在不斷進步，尤其是膜技術與拋光混床技術。該項目為工業(yè)廠房超純水制造提供了實際案例，為其他項目的建設和優(yōu)化提供一定的參考和借鑒。